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簡要描述:日本Atec愛泰克潔凈室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S是一種無接觸式磁懸浮傳送系統,專為潔凈室環境設計,適用于半導體、液晶面板、光伏電池等對潔凈度要求嚴苛的行業。其核心是通過電磁力驅動載物平臺(Plane)實現無摩擦、無塵的物料傳輸。通過選擇多種塑料材料,可以減少對工件表面的損傷,并可根據條件調整運輸和定位,它比使用支撐塑料銷的傳統定位方法更輕,并且產生的灰塵更少。
深圳納加霍里科技專業代理銷售日本Atec愛泰克潔凈室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S 產品特點如下:
日本Atec愛泰克潔凈室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S 是一種無接觸式磁懸浮傳送系統,專為潔凈室環境設計,適用于半導體、液晶面板、光伏電池等對潔凈度要求嚴苛的行業。其核心是通過電磁力驅動載物平臺(Plane)實現無摩擦、無塵的物料傳輸。
通過選擇多種塑料材料,可以減少對工件表面的損傷,并可根據條件調整運輸和定位,它比使用支撐塑料銷的傳統定位方法更輕,并且產生的灰塵更少。
潔凈室中使用的平面傳送器。可根據制造過程中的各種使用環境(耐磨、耐熱、防靜電、真空環境等)選擇各部件的材料。
從組裝到包裝,我們都在潔凈棚和潔凈工作臺上進行工作。對每個部件進行脫脂并用純水清洗,以盡可能去除加工過程中粘附在球表面的樹脂粉末。
標準平面載物臺,可選配真空吸附功能(用于固定晶圓或玻璃基板),直線型軌道,驅動模塊(Drive)集成,不銹鋼材質(Stainless Steel),符合潔凈室防銹要求。
核心技術特點
磁懸浮驅動:
通過線性電機技術實現非接觸式傳送,避免傳統皮帶/滾輪產生的微粒污染。
載物平臺與軌道無物理接觸,減少磨損和維護需求。
潔凈室兼容:
符合ISO Class 1-5級潔凈標準(取決于配置)。
材質采用不銹鋼或陽極氧化鋁,表面光滑易清潔。
高精度定位:
重復定位精度可達±0.01mm,適用于精密制造流程。
模塊化設計:
軌道可自由拼接擴展(直線/曲線),適應不同布局需求。
支持多載物平獨立立控制,提升傳輸效率。
典型應用場景
半導體制造:晶圓傳送、光刻機上下料。
FPD行業:液晶面板、OLED基板運輸。
光伏產業:硅片無塵輸送。
生物醫藥:無菌環境下試劑瓶或器械搬運。
可選配置與定制
真空吸附:防止薄型基板在高速移動中偏移。
FFU(風機過濾單元):集成局部潔凈氣流。
防靜電處理:避免靜電敏感器件損壞。
通信接口:支持SECS/GEM、EtherCAT等工業協議。
優勢總結
污染:無摩擦、無潤滑劑,適合超凈環境。
低維護:無機械接觸部件,壽命長。
靈活布局:模塊化設計適應復雜產線。
節能高效:比傳統傳送系統能耗更低。
規格
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